因為低溫冷凝泵具有無油， 對一切氣體的抽速都較大， 特別是對水蒸汽、H2 等抽速很大， 適應性強， 制冷機低速運轉， 且運動部件很少， 有利于長時間可靠運轉等長處， 因而， 被廣泛應用于IC生產工藝中的蒸騰、濺射、離子注入、分子束外延以及其它比如高能粒子加速器、受控熱核反應、電真空器材、資料科學、外表分析儀器等領域， 以此來獲得清潔的高真空或超高真空。
現以冷凝泵為例， 扼要論述冷凝泵的內部結構特點、作業原理以及維護保養方面的關鍵。冷凝泵的內部結構資料： 無氧銅； 溫度： 80K （一級冷頭溫度）。結構： 人字紋形， 百葉窗形。首要用來凝縮掃除水蒸氣（H2O ）、有機物（CO2） 等的氣體分子 并用來避免熱輻射直接進入輻射罩。
通常， 在80K溫度下， 入射水分子的溫度即使在室溫 凝縮系數也接近于。因而，水分子簡直悉數被凝縮， 所以，冷凝泵對水的掃除是理想的。資料： 無氧銅； 溫度： 80K.輻射罩包裹著冷頭，是為了阻撓外來的熱輻射。外側為了反射熱輻射，施行了反射率很高的鎳噴涂； 內側為了阻撓熱輻射反射到冷板， 施行了能吸收輻射能的黑化處理涂層。
資料： 無氧銅； 溫度： 15K（二級冷頭溫度） ; 結構： 9片柱形， 5片錐形。冷板從功能上分為外外表冷凝掃除氣體部分和內外表活性炭吸附掃除氣體部分。O2、N2、Ar等凝縮性氣體分子的絕大部分被擋在冷板外外表， 并在其外表凝縮， 而到達其內外表活性炭的氣體分子則極少。H2分子在冷板外外表不被凝縮而被反射， 從而， 被位與其內外表的活性炭所吸附。
