由于低溫冷凝泵具有無(wú)油， 對(duì)一切氣體的抽速都較大， 特別是對(duì)水蒸汽、H2 等抽速很大， 適應(yīng)性強(qiáng)， 制冷機(jī)低速運(yùn)轉(zhuǎn)， 且運(yùn)動(dòng)部件很少， 有利于長(zhǎng)期可靠運(yùn)轉(zhuǎn)等優(yōu)點(diǎn)， 因而， 被廣泛應(yīng)用于IC生產(chǎn)工藝中的蒸發(fā)、濺射、離子注入、分子束外延以及其它諸如高能粒子加速器、受控?zé)岷朔磻?yīng)、電真空器件、資料科學(xué)、外表分析儀器等范疇， 以此來(lái)取得清潔的高真空或超高真空。
現(xiàn)以CTI Torr-8冷凝泵為例， 扼要論述冷凝泵的內(nèi)部結(jié)構(gòu)特點(diǎn)、作業(yè)原理以及維護(hù)保養(yǎng)方面的要點(diǎn)。資料：無(wú)氧銅； 溫度： 80K （一級(jí)冷頭溫度） ; 結(jié)構(gòu)： 人字紋形， 百葉窗形。首要用來(lái)凝縮掃除水蒸氣（H2O ）、有機(jī)物（CO2） 等的氣體分子， 并用來(lái)避免熱輻射直接進(jìn)入輻射罩。
通常， 在80K溫度下， 入射水分子的溫度即使在室溫， 凝縮系數(shù)也接近于1.因而， 水分子幾乎全部被凝縮，所以冷凝泵對(duì)水的掃除是理想的。資料： 無(wú)氧銅； 溫度： 80K.輻射罩包裹著冷頭，是為了阻擋外來(lái)的熱輻射。外側(cè)為了反射熱輻射， 施行了反射率很高的鎳噴涂； 內(nèi)側(cè)為了阻擋熱輻射反射到冷板，施行了能吸收輻射能的黑化處理涂層。
資料： 無(wú)氧銅； 溫度： 15K（二級(jí)冷頭溫度） ; 結(jié)構(gòu)： 9片柱形， 5片錐形。冷板從功能上分為外外表冷凝掃除氣體部分和內(nèi)外表活性炭吸附掃除氣體部分。O2、N2、Ar等凝縮性氣體分子的絕大部分被擋在冷板外外表， 并在其外表凝縮， 而抵達(dá)其內(nèi)外表活性炭的氣體分子則極少。H2分子在冷板外外表不被凝縮而被反射， 從而， 被位與其內(nèi)外表的活性炭所吸附。
