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冷凝泵的常識

發布時間:2022-12-19 點擊量:304

  冷凝泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵。冷凝泵是一種低極限壓力、高抽速的真空泵,以獲得潔凈的真空。廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產,以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀、離子注入機和空間模擬器。由于其清潔無污染、高效率、高抽速、高可靠性等突出優點,廣泛應用于科研實驗室乃至工業生產等諸多領域,如半導體材料制造、平板顯示生產/測試設備、太陽能制造、真空鍍膜、熱真空系統等。

  冷凝泵運行時振動過大、噪音大的原因:

  1.發生氣穴現象。空化過程中會產生氣泡和氣泡破裂,從而引起振動和噪聲。如果振動是由泵汽蝕引起的,則需要考慮改變安裝高度或增加系統壓力。此外,選擇合適類型的泵非常重要。

  2.冷凝泵轉子平衡降低。當轉子不平衡時,轉子中心與旋轉的新偏差過大,轉子旋轉時會產生不平衡力,特別是轉速高時,振動會更明顯。一方面可能是制造或裝配,轉子平衡不符合設計要求;另一方面,可能是泵運行一定時間后,由于某些原因,如軸受力變形、零件偏心磨損過大等,導致轉子的平衡精度下降。在這兩種情況下,都需要重新平衡轉子。

  3.冷凝泵在非設計工況區運行。盡量使泵在額定流量揚程附近運行,盡量避免低流量高流量運行,否則水力沖擊增大會引起振動。當水流從葉輪葉片的外端經過導葉或冷凝泵的舌部時,會產生水力沖擊,雖然沖擊的程度隨著泵的轉速和尺寸的增大而增大,但當這種水力脈沖船舶管路系統為基礎時,會產生噪聲和振動。如果這種水中脈沖的頻率接近泵軸、管道系統或基礎的固有頻率,就會產生更嚴重的共振。

  4.軸承損壞或不匹配。如果軸承損壞,除了本身的運行噪聲外,還會使轉子的運動失去穩定性,從而使泵機組的振動和噪聲增大。此外,軸承的徑向間隙過大也會產生噪音。更換冷凝泵軸承可以解決問題。

  5.安裝問題。比如冷凝泵與底座、底座與基礎之間有松動,電機與泵的聯軸器同軸度低,就可能產生振動和噪音,需要重新擰緊連接螺栓或重新校準。

  以上就是關于冷凝泵的一些知識點,希望大家可以認真學習了解相關知識。

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