冷凝泵無(wú)油，對(duì)所有氣體的提取速度都很大。特別是水蒸氣、H2等萃取速度大，適應(yīng)性強(qiáng)，冰箱低速工作，移動(dòng)部件很少，有利于長(zhǎng)期可靠的運(yùn)行。因此，冷凝泵廣泛適用于IC生產(chǎn)過(guò)程的蒸發(fā)、濺射、離子注入、分子束外延及其他高能粒子加速器。
冷凝泵結(jié)構(gòu)說(shuō)明是什么？
品種
N型冷凝泵分為水平懸臂端，2級(jí)離心泵，共8個(gè)品種。單個(gè)級(jí)別為3N6、4N6、100N130。第二級(jí)為2.5N3X2、3N6X2和4N6X2。單級(jí)誘導(dǎo)輪有6N6，150N110
凝結(jié)泵支撐部分
支撐部分的主要部件是支架、前后鈾壓力蓋及鈾組合位于支架的前后徑向滾珠鈾軸承上，滾動(dòng)滾珠鈾軸承也能承受不平衡的鈾方向力。用稀油潤(rùn)滑的話，油量可以在油表上看到。前后鈾壓力蓋均配有氈密封，用鈾封條防止漏油。管子堵塞處的洞是用來(lái)加油的。換油時(shí)，請(qǐng)從鋼絲孔中排出油。
密封和傳動(dòng)
泵用柔軟的填料密封，鈾棒上有可更換的鈾蓋。泵通過(guò)彈性鈾機(jī)由電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)，從傳動(dòng)方向看，泵逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)。
冷凝泵工作部分
第一段：主要由硅黃銅80-3鑄造的葉輪通過(guò)鑰匙固定45號(hào)優(yōu)碳制成的軸，葉輪安裝在由耐磨鑄鐵HT20-40制成的泵體、泵蓋組成的泵工作室中。動(dòng)力器通過(guò)車軸驅(qū)動(dòng)軸承支撐的軸和葉輪，泵工作。用耐磨鑄鐵HT20-40制作的套筒、耐磨鑄鐵HT20-40制作的套筒泵后的包裝函中含有充電環(huán)，將油浸在石墨石棉繩上，打開(kāi)蓋子，加長(zhǎng)兩個(gè)螺栓，可收緊填料，調(diào)節(jié)松脫，外部引入高于大氣壓的密封水。通過(guò)交接對(duì)準(zhǔn)充電環(huán)，在整個(gè)充電器內(nèi)隔絕空氣，侵犯泵內(nèi)密封條，防止泵內(nèi)水泄漏，只排出少量潤(rùn)滑水滴。在葉輪上打開(kāi)平衡孔，消除軸向推力，使高壓區(qū)域能與進(jìn)口低壓區(qū)溝通，為防止泵體和泵蓋磨損，做好維修工作，泵體、泵蓋設(shè)有密封環(huán)，泵體上有絲孔，用于防雨，停車檢修時(shí)，泵內(nèi)的水從絲孔中逸出，為方便泵體和泵蓋的拆卸，準(zhǔn)備了蓋子。
二級(jí)：其余與一級(jí)一樣，只有泵蓋、泵和中間導(dǎo)葉組成兩個(gè)工作室，兩個(gè)室內(nèi)配有硅黃銅80-3制作的一級(jí)葉輪和鑄鐵HT20-40CuMo制作的葉輪。短帶誘導(dǎo)輪：其余與短級(jí)相同，只有葉輪材料為鋁青銅9-4，在葉輪前添加鋁青銅9-4制成的誘導(dǎo)輪，提高氣蝕性能。
