近年來真空泵運(yùn)用的發(fā)展壯大，真空泵的種類現(xiàn)已發(fā)展壯大了好多，其泵效從每秒鐘0：升到每秒鐘十余萬和上百萬升。近年來真空設(shè)備在制造和科研各個(gè)領(lǐng)域中對(duì)其運(yùn)用壓力強(qiáng)度區(qū)域的標(biāo)準(zhǔn)愈來愈寬，大部分要由幾個(gè)真空泵組合成真空吸氣體系一起吸氣后才能夠達(dá)到制造和科研流程的標(biāo)準(zhǔn)，基于真空運(yùn)用相關(guān)部門所涵蓋的工作的壓力的區(qū)域很寬，故此其他1種類別的真空泵都難以根本應(yīng)用于任何的工作的壓力區(qū)域，也只能按照不一樣的工作的壓力區(qū)域和不一樣的工作標(biāo)準(zhǔn)，運(yùn)用不一樣類別的真空泵。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
在較寬的壓力范圍內(nèi)，有較大的抽速;轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對(duì)稱性，因此振動(dòng)很小，運(yùn)行平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子之間和轉(zhuǎn)子之間都有間隙。無需潤滑，摩擦損失小，可以大大降低驅(qū)動(dòng)功率，從而實(shí)現(xiàn)更高的轉(zhuǎn)速;泵腔不需要油密封和潤滑，可以減少油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的污染;泵腔沒有壓縮，也沒有排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單緊湊，對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感。壓縮相對(duì)較低，對(duì)氫氣抽氣效果較差;轉(zhuǎn)子表面是形狀更復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查相對(duì)困難。
機(jī)械選擇：
真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過程和環(huán)境有影響，如果工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或采取防振動(dòng)措施。
了解抽氣體的成分，氣體中不含可凝氣，顆粒灰塵或腐蝕性等，選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，并選擇相應(yīng)的泵進(jìn)行抽氣體。氣體中含有蒸氣，顆粒和腐蝕性氣體，應(yīng)考慮在泵進(jìn)氣口管中安裝輔助設(shè)備，例如冷凝器，除塵等。
真空泵在工作壓力下，應(yīng)能夠在真空設(shè)備工藝過程中排出所有氣體，以產(chǎn)生恒定的氣體量。
正確組合真空泵。由于真空泵具有選擇性抽氣，因此有時(shí)選擇泵不能滿足抽氣要求。有幾種泵可以組合并相互補(bǔ)充以滿足抽氣要求。例如，鈦升華泵具有很高的氫抽速，但不能抽氦，而三極濺射離子泵具有一定的抽速，并且兩者的組合會(huì)使真空裝置獲得更好的真空度。此外，有些真空泵不能在大氣中工作，并且需要預(yù)真空。有些真空泵出口的壓力低于大氣壓，需要前級(jí)泵，因此需要將泵組合使用。
真空設(shè)備對(duì)油污染的要求，如果設(shè)備嚴(yán)格要求無油，應(yīng)選擇各種無油泵，例如：水環(huán)泵，分子篩吸附泵，濺射離子泵，低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，并添加一些防油污染措施，例如冷阱，障口，擋油陷阱等，也可以達(dá)到清潔真空的要求。
